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如何確保單晶硅烘箱的密閉性

發(fā)布日期: 2018-05-16
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   單晶硅烘箱箱體結(jié)構(gòu):設(shè)計,箱體采用數(shù)控機(jī)床加工成型,箱門采用雙開式,操作容易。內(nèi)膽采用SUS304不銹鋼板,外殼為A3板噴塑處理,更顯光潔、美觀。電路系統(tǒng)側(cè)采用門式開啟,方便維護(hù)和檢修。箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保單晶硅烘箱的密閉性。
  
  空氣循環(huán)系統(tǒng)采用雙電機(jī)水平循環(huán)送風(fēng)方式,風(fēng)循環(huán)均勻。風(fēng)源由循環(huán)送風(fēng)電機(jī)(采用無觸點開關(guān))帶動風(fēng)輪(Φ230)經(jīng)由電熱器,而將熱風(fēng)送出,再經(jīng)由風(fēng)道至烘箱內(nèi)室,再將使用后的空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán),加熱使用。確保室內(nèi)溫度均勻性。當(dāng)因開關(guān)門動作引起溫度值發(fā)生擺動,可介此送風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)迅速恢復(fù)操作狀態(tài)溫度值。
  
  單晶硅烘箱的概念
  
  主要用于單晶硅與多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工藝處理。特點
  
  1,本系列主要用于單晶硅與多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工藝處理。
  
  2,本系列烘箱采用數(shù)顯溫度調(diào)節(jié)儀進(jìn)行溫度控制、控溫靈敏、操作簡便、性能可靠,數(shù)字直接顯示出工作溫度,直觀易讀。
  
  3,工作室溫度可在室溫至250℃之間任意恒溫;能自動切斷電源,保護(hù)設(shè)備和產(chǎn)品。
  
  4,單晶硅烘箱具有超溫報警,恒溫計時功能。
  
  箱體結(jié)構(gòu):設(shè)計,箱體采用數(shù)控機(jī)床加工成型,箱門采用雙開式,操作容易。內(nèi)膽采用SUS304不銹鋼板,外殼為A3板噴塑處理,更顯光潔、美觀。電路系統(tǒng)側(cè)采用門式開啟,方便維護(hù)和檢修。箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保烘箱的密閉性。
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